CT350T

T型系列设备专为绝对厚度测量设计，配备了两个轴向传感器， 分别位于大理石减震平台上方及下方，其测量不受与材料和表面特性影响。两个同轴高精度传感器与X，Y编码器同步收集信号数据，可以精确实现不同位置的绝对厚度测量。ScanSuite工业软件可以分别处理由上下两个传感器采集的数据，同步分析总厚度曲线以及三维TTV形貌图。

运动定位平台由高精度新型永磁直线电机驱动，水平定位精度达50纳米。通过用户选配的适配治具，可以将T系列设备按照标准形貌测量设备设用，这使得T系列设备得到了更广泛的应用范围。T系列设备包括有CT250T, CT350T，CT600T等多种不同规格型号，其中CT250T以200毫米×200毫米的扫描范围，得到了众多8寸晶圆生产客户的青睐。