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CT100

Hanstech semitechnology Co., Ltd

CT100是一款紧凑灵活的小型桌面设备。具有占用面积小,测量精度高的特点。设备主体结构包括光学传感系统以及XY运动定位平台。光学传感系统采用共聚焦测量原理,充分结合高测量速度与高测量精度的优势。测量分析的工业软件ScanSuite属于cyberTECHNOLOGIES完全独立自主研发,可以实现复杂的表面拓扑形貌分析并实现全自动化测量功能。

技术特点:

  • 新型永磁直线电机
  • 测量速率: 2 kHz (4 kHz),
  • 该系统可以扫描的最大面积为150毫米×150毫米,最小水平分辨率50 纳米
  • 2D截面扫描,3D形貌扫描。
  • 装配白光共焦传感器
  • 最高垂直测量分辨率可达3 nm,测量量程达25 mm
  • 可选装高分辨工业相机

应用领域: