CT300

CT300是一款非接触式表面轮廓测量设备，配备落地式支架和悬浮大理石，是一款多面向企业生产型客户的高精度测量设备。其测量表面面积达315mm×315mm，可以测量12寸晶圆，或其他大型PCB基板等产品。CT300可同时安装有多个不同参数型号的白光共聚焦传感器，最大测量速率可达4KHz，可以使产品测量时间最小化。多传感器科技可以最大限度实现一机多用，除传统共焦传感器外，可以同时装配例如远红外干涉型传感器，同时测量样品表面形貌，晶圆绝对厚度等各类工业测量需求。