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CyberScan 特殊定制型

Hanstech semitechnology Co., Ltd

CT150

全新CT150专为高性能LCHR白光传感器而设计。该设备配有150mm*150mm磁线性运动平台,定位精度50nm。 特别适用于场地有限,又有较高测量需求的实验室等研究机构。

加热控温平台系统Heating Stage System

由于温度变化而引起的表面形貌改变是半导体领域特别关注的一个问题,本公司提供一系列基于可控温度平台的测量平台方案。基于高精度非接触式测量平台以及高集成性测量软件可以测的在不同温度状态下,芯片表面形貌变化。

芯片托盘传送系统Conveyor System

CyberScan CT系列平台提供全系列标准和定制的芯片托盘传送机系统,以用于芯片制造封装等各个环节。