LTCC陶瓷电路膜厚测量

LTCC（Low Temperatrue Co-fired Ceramic）即低温共烧陶瓷，是将低温烧结陶瓷粉制成厚度精确而且致密的陶瓷板，然后再利用激光打孔、微孔注浆、精密导体浆料印刷等工艺制出所需要的电路，最后在1000℃以下进行烧结形成LTCC无源/有源集成的功能模块。由于LTCC电路所有陶瓷材料及电路元件的导体浆料均属于低反光材料，对于传统的激光测量设备造成很大困难。CyberScan 利用光学共聚焦技术，并集合独有的传感器控制技术完美的解决了这一困难。控制软件控制传感器在样品表面进行控制不同的光通量，连续两次曝光，软件智能判断数据结果，选择最优结果形成表面形貌数据。