CT600/1000 是一款大型测量设备。传感器测量单元及视频相机固定于大理石龙门上面。龙门装配有空气轴承，是整个设备的运动部件。同时，样品固定于大理石测量台表面。该型设备常用于客户定制化需求，特别适用于大型及超重型样品表面形貌测量需求。
技术特点：
- 高精度快响应型永磁直线电机，加装空气轴承
- 测量速率: 4 kHz (14 kHz 可选)，
- 该系统可以扫描的最大面积为600毫米×600毫米（CT1000为1000毫米×1000毫米），最小水平分辨率50 纳米
- 2D截面扫描，3D形貌扫描。
- 多传感器测量模组（共聚传感器，CFM或3D白光干涉仪 选装）
- 最高垂直测量分辨率可达3 nm，测量量程达25 mm
- 可选装高分辨同轴或离轴工业相机