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VANTAGE 2

Hanstech semitechnology Co., Ltd

cyberSCAN VANTAGE 2 非接触式紧凑型表面形貌测量仪,可装配各型号共焦传感器。该产品外观精巧,所有电路连接均集成于设备内部,没有外部独立控制器,仅最基本电源连接及通信连接线。该型设备广泛用于各大科研院所,实验室以及工业生产领域。设备扫描范围为200毫米×200毫米,非常适合于测量厚膜基板, 8“晶圆以及太阳能光伏板等方面的自动化测量 应用。 

技术特点:

  • 可装配各型号光谱共焦传感器,最小垂直分辨率为3纳米,测量范围最大可达25毫米

  • 扫描范围为200毫米×200毫米,最小水平分辨率1微米

  • 高精度永磁直线电机

应用领域: